无掩模光刻机
无掩模光刻机，3D光刻设备
基本信息
无掩模光刻机
光刻应用
平面光刻
灰度光刻（支持256阶灰度光刻）
光刻图像3D重构
超高精度3D光刻设备
超高精度3D光刻设备
3D光刻案例
MEMS 微机械器件 —— 微机械器件涡轮
|
|
设备可以广泛应用各种MEMS产品领域，也可满足一些领域的特殊需求，诸如微器件封装、热管器件、医疗器械等。可以直接、快速、批量生产出复杂、高深宽比的三维微结构。 |
航空航天 —— 机械超材
|
|
模仿许多天然硅质骨架物种的构造，设备可用于加工结构仿生学的机械超材料结构，这些结构往往具有高强度、超低密度、可扩展性以及高压缩和超弹性拉伸性的超机械性能。可广泛应用于航空航天等领域。 |
仿生学 —— 超疏水表面
|
|
可用于超疏水表面的研究。超疏水材料表面所具有的不浸润性及低表面粘滞力，使其在微流体控制方面具有出色的表现。如控制微液滴的运动和流动，并以此制造微液滴控制针头，使得在实验或者生产过程中对液体滴加计量能够精确控制。 |
微流控 —— 引射器
|
|
设备可用于加工微米级的引射器，由于微米级的尺寸结构，流体在微流控芯片中显现出与宏观尺度不同的流体力学特性。引射器是一种利用高速高能流引射另一股低速低能流的装置，射流经收缩形喷嘴迸入混合室，通过边界的参混作用，引射流将能量传递给被引 射流。 |
组织工程 —— 毛细血管
|
|
人工制造小管径的毛细血管是一个行业难题和技术瓶颈，设备适用于光刻血管、细胞、生物支架, 细胞活性因子和构建 3D 细胞-生物支架材料复合物，最终获得 人造器官。 |
生物医疗 —— 生物支架料
|
|
设备可用于再生组织领域, 包含微纳纤维、3D支架组织材料制造等方面。具有高精度，高效率的特点；能够兼容多种生物材料和衬底, 在生物技术和医疗等领域 具有良好的应用前景和巨大的潜能。 |
工业应用 —— 螺钉
|
|
在一些微小结构的连接中，可能难于使用焊接或者整体成型的注塑方式，只能使用螺钉来连接，而批量设计不同规格的螺钉需要高昂的开模费用，且加工难度巨大，所以使用微纳3D光刻技术可以完美解决这类痛点。 |
工业应用 —— 精密连接器
|
|
在集成电路板设计验证早期，一些精密的串口连接器制造是行业的痛点难题，制造商会面临着加工难，更换设计周期长的问题，如果使用微纳3D光刻技术，可以大大缩短早期设计验证的周期，提速产品定型。 |
3D光刻图样
|
|
Bird Nest
|
|
|
Eiffel Tower埃菲尔铁塔整体尺寸： |
|
|
The Hall of Prayer for Good Harvest祈年殿整体尺寸： |
|
|
Lattice晶格立方尺寸： |
|
|
Hollow Cube镂空立方整体尺寸： |
|
|
Lattice晶格整体尺寸： |
